Tehnologija mikromašinske obrade je vrlo fleksibilan proces, koji može proizvesti mikro komponente složenih oblika. Osim toga, može se primijeniti na širok spektar materijala. Njegova prilagodljivost čini ga posebno pogodnim za brz rad od ideje do prototipa, proizvodnju složenih 3D struktura, iterativni dizajn i razvoj proizvoda,
1. Tehnologija fizičke mikromašinske obrade
Obrada laserskim snopom: proces obrade koji koristi toplinsku energiju vođenu laserskim snopom za uklanjanje materijala s metalnih ili nemetalnih površina. Pogodniji je za krhke materijale niske vodljivosti, ali se može koristiti za većinu materijala.
Obrada ionskim snopom: važna nekonvencionalna proizvodna tehnologija za mikro/nano proizvodnju. Koristi ubrzani tok jona u vakuumskoj komori za uklanjanje, dodavanje ili modificiranje atoma na površini objekta.
2. Tehnologija hemijske mikromašinske obrade
Reaktivno ionsko jetkanje (RIE): proces plazme u kojem se supstance pobuđuju RF pražnjenjem na supstrate ili filmove u niskonaponskoj komori. To je sinergijski proces hemijski aktivnih supstanci i visokoenergetskog ionskog bombardovanja.
Elektrohemijska obrada (ECM): metoda uklanjanja metala elektrohemijskim procesima. Obično se koristi za masovnu proizvodnju i obradu izuzetno tvrdih materijala ili materijala koji se teško obrađuju tradicionalnim metodama. Njegova upotreba je ograničena na provodljive materijale. ECM može rezati male ili nepravilne uglove, složene konture ili šupljine u tvrdim i rijetkim metalima.
3. Tehnologija mehaničke mikromašinske obrade
Dijamantsko tokarenje: proces tokarenja ili obrade preciznih komponenti tokarilom ili izvedenom mašinom opremljenom prirodnim ili sintetičkim dijamantskim svrdlom.
Dijamantsko glodanje: proces rezanja koji se može koristiti za stvaranje niza asferičnih sočiva kružnim rezanjem pomoću sfernog dijamantskog alata.
Precizno brušenje: abrazivna obrada koja omogućava mašinsku obradu radnog komada u finu završnu obradu površine i vrlo blisku toleranciju od 0.0001 ".
Poliranje: abrazivna obrada, poliranje ionskim snopom argona je prilično stabilan proces, koji se koristi za doradu teleskopskih ogledala i ispravljanje zaostalih grešaka mehaničkog poliranja ili dijamantskog okretanja optičkih uređaja. MRF proces je prvi deterministički proces poliranja. Komercijalizovan i koristi se u proizvodnji asferičnih sočiva, reflektora itd.
